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Low load,UHV ( Ultra High Purity ) UHV ( Ultra High Vacuum) Seals
Helicoflex Delta Seal은 일반 씰로는 불가능한 초저온,초고순도,초진공과 같은 극한의 사용환경에 적합한 씰로써, 내화학성,내방사능성이 뛰어나,유독성가스/케미칼의 이송시스템, 반도체분야의 PVD / CVD / ETCH TOOL,가속기,핵융합장치등과 같이 Leak를 완벽하게 차단(Ultra-low Leak Rate)해야되는 플랜지나 커넥터와 같은 연결부품에 많이 적용되어 왔으며, 특히 낮은 체결력(Low compression load)이 요구되는, Quartz,Ceramic, Aluminum과 같은 깨지기 쉽거나 연질의 플랜지에 적합하도록 고안된 Helicoflex Seal이다.
오링이외의 다양한 형상 Odd Shapes의 Delta Seal
Helicoflex Delta Seal의 특장점  
Ultra-low Leak Rates (


-
cc/sec He)


Low Outgassing


Cryogenic Temperatures (< 1.8°K)


Long Life Expectancy
Chemical Compatability


Aluminum Flanges


Odd Shapes Sizes


High Temperature Bake Out
Radiation Resistance


Remote Handling Capability


Quartz & Ceramic Flanges


Reduced Load
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Helicoflex seal is a registered brand name of Technetics group.
Typical Applications l 적용분야
GAS / CHEMICAL DELIVERY SYSTEMS 유독성 개스/케미칼 이송라인


Modular Gas Systems: Surface Mount Components


Mass Flow Controllers: Inlet / Outlet Ports, Sensor Ports


Flow Control Components: Valves, Regulators, Transducers


Chemical Delivery Canisters / Ampoules


Bulk Chemical: Flange Connections


PVD / CVD / ETCH TOOLS 반도체분야


Flange Connections: SStoSS, SS to Al


UHV Pump / Chamber Connections


Gate / Slit Valves


Odd Shaped Chamber Ports


Standard ISO Flanges




ACCELERATORS/FUSION RESEARCH 핵융합


Quartz Windows / Ceramic Flanges


Tandem Seals: Metal and Elastomer


RF Waveguide Connections


Cryogenics / Superconducting Magnets


Beam Tube Connections


Custom Vaccum Chambers

원자력


 






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