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Garlock Helicoflex의 Ultra-Flex Seal은 금속 재질의 씰로써, 아주 낮은 체결력( Low Compression load)에도 고진공이 가능한 초고성능씰이다 . 초고순도,내화학성이 뛰어나 반도체분야에서는 KALREZ,Perlast,Chemraz 와 같은 퍼플러오링을 효과적으로 대체할수 있을 뿐만 아니라 , 성능은 오히려 훨씬 뛰어나다.
Garlock Ultra-Flex Seal의 특장점
Replacement For Perfluoroelastomer[Kalrez,Perlast,Chemraz]O-Rings


Designed for semiconductor, high purity, tight sealing applications.


Tighter seal & Sealing Level : < 1x10-9 cc/sec He,온도 영향 별로 없음.


Kalrez,Viton등 Elastomer Oring의 sealing Level : 온도가 올라갈수록 저하됨.


High Purity, No contamination.Equipment sealing surfaces stay clean 초고순도,오염제로.


90% lower load than standard metal seals,Ceramic,Quartz 같이 깨지기쉬운 연질의 플랜지에 적합.


Compatible with aggressive semiconductor media including plasmas.


Good for applications from cryogenics(극저온) up to 350°C, · No out-gassing.
Typical Applications 적용분야 반도체에서의 적용분야
Turbo pumps


Chemical containers
Quartz windows


Ceramic flanges
Vacuum chambers


Quick disconnect flanges



ISO KF 16, 25, 40 & 50 standard metal replacement assemblies.ISO LF flanges.


아래의 KALREZ, Chemraz와 같은 퍼플러와 Ultra-Flex Seal의 성능비교를 보십시요.
ULTRA-FLEX Seal vs. Perfluoro (FFKM) 성능비교
ULTRA-FLEX 200,400 와 FFKM(퍼플러)의 Temperature별 Leakage비교
 
LEAKAGE vs. TIME FFKM(Perfluoro) vs. ULTRA-FLEX
반도체 분야의 적용
Wet Applications (Lithography, Etch Stripping,Cleaning)


Drain seals


Seals for chemical containers


Seals for filters/connectors

Dry Plasma (Etching, Ashing, PECVD/APCVD),
Dry Gas (PVD, Metal CVD)



Chamber lid


Lamp seal


Exhaust valve


Gas inlet/outlet


Window seal


Centering ring


Fittings/connectors

Dry Thermal (LPCVD, Lamp Anneal, Oxidization Diffusion)



Quartz chamber seal


Fittings


Centering ring


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